Az oxigénüzemek elsősorban kriogén légleválasztási módszerrel állítanak elő oxigént, melynek specifikus folyamata a következő:
Levegő előkezelés: A levegőt kiszűrik a por és a szennyeződések eltávolítására, majd kompresszorral nyomás alá helyezik.
Hűtés és cseppfolyósítás: A sűrített levegőt hűtőberendezéssel folyékony állapotba hűtik.
Desztillációs elválasztás: A desztillációs oszlopban az oxigén (forráspont -183 fok) és a nitrogén (forráspont -196 fok) közötti forráspont-különbséget kihasználva a nitrogén elpárolog, és hevítéssel és desztillációval elválik, így főként folyékony oxigén marad.
Termékgyűjtés: Az elpárologtatás után a folyékony oxigén a kívánt nagy{0}}tisztaságú oxigént adja, jellemzően 99,6% feletti tisztasággal.
Ez a módszer fizikai változásokat használ az oxigén és a nitrogén elválasztására. A nyersanyagok széles körben elérhetőek és olcsók, így alkalmasak nagy-ipari termelésre. Ezen kívül léteznek más oxigéntermelési módszerek is, mint például a molekulaszita adszorpció és a víz elektrolízis, de a kriogén levegős elválasztási módszer az elsődleges ipari módszer.